懸臂接觸式RF MEMS開(kāi)關(guān)的設計

全部作者： 張義愷 第1作者單位： 北京郵電大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院 論文摘要： 本文研究的金屬接觸型RF MEMS開(kāi)關(guān)由懸臂梁，驅動(dòng)電極，金屬觸點(diǎn)等部分構成�；�于微波、材料和機械設計因素的考慮，本次設計選取了氮化硅作為懸臂梁的材料，以保證有材料具有良好的機械特性和化學(xué)穩定性。并選擇金作為接觸金屬，是由于金在穩定性和導電性方面的優(yōu)勢。懸臂梁為PECVD制作的氮化硅薄膜,聚酰亞胺作為犧牲層,運用等離子體刻蝕法釋放犧牲層。研究了懸梁、電極的制作工藝,并分析了犧牲層的制作和刻蝕工藝對開(kāi)關(guān)結構的影響，并對開(kāi)關(guān)進(jìn)行失效分析。 關(guān)鍵詞： 微機電系統，射頻開(kāi)關(guān)，閾值電壓，失效 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2007年07月23日 同行評議：

作者應當通過(guò)實(shí)驗來(lái)驗證其設計的正確性,可是其并未做實(shí)驗,沒(méi)有在實(shí)驗中修正其設計,理論分析不準確.　

綜合評價(jià)： 修改稿： 注：同行評議是由特聘的同行專(zhuān)家給出的評審意見(jiàn)，綜合評價(jià)是綜合專(zhuān)家對論文各要素的評議得出的數值，以1至5顆星顯示。

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