介觀(guān)壓阻效應及器件研究

全部作者： 張文棟 熊繼軍 薛晨陽(yáng) 張斌珍 仝召民 第1作者單位： 中北大學(xué)信息與通信工程學(xué)院 論文摘要： 介紹了GaAs/AlAs/InGaAs雙勢壘超晶格薄膜結構的介觀(guān)壓阻效應以及幾種基于此效應的新型傳感器件。闡述了介觀(guān)壓阻效應的4個(gè)過(guò)程，結合空氣橋結構和歐姆接觸技術(shù)，在[001]晶向半絕緣GaAs襯底上加工出來(lái)了GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿結構（RTS），并對其進(jìn)行了加壓試驗研究，發(fā)現其介觀(guān)壓阻靈敏度達到2.54×10-9 Pa-1，是硅壓阻靈敏度的1個(gè)數量級以上。采用控制孔技術(shù)成功加工出了基于RTS的圓膜壓力、4梁加速度和仿生矢量水聲3種新型納機電器件，并分別對其進(jìn)行了壓力罐、振動(dòng)臺和水下駐波測試。結果表明圓膜壓力傳感器具有較好的力電耦合特性；4梁加速度計的壓阻靈敏度隨RTS兩端偏置電壓可調，并在微分負阻（NDR）區具有最大壓阻靈敏度；矢量水聽(tīng)器具有良好的“8”字余弦指向性，靈敏度在1000Hz時(shí)達到-184.6dB，可以實(shí)現水平面內的水下聲信號探測。 關(guān)鍵詞： 介觀(guān)壓阻效應，共振隧穿結構，納機電 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2007年12月14日 同行評議：

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綜合評價(jià)： （暫時(shí)沒(méi)有） 修改稿： (第1版)(2007-12-24)

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