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用于微機械器件和微電子機械系統的關(guān)鍵技術(shù)論文
自二十世紀以來(lái)，我國我電子技術(shù)以及集成電路技術(shù)就開(kāi)始不斷發(fā)展，這也是人類(lèi)文明發(fā)展過(guò)程中的重要基礎技術(shù)，由此可見(jiàn)微機械的重要性不言而喻。這些技術(shù)不斷發(fā)展最終退出了微機械技術(shù)，并且微機械在未來(lái)的發(fā)展過(guò)程中與微電子技術(shù)相結合，成就了微電子機械系統，這樣巧妙的結合再一次引起人們科技化發(fā)展的巨大震撼。由此的發(fā)展，人們都認定微機械器件與微電子機械相結合將會(huì )帶來(lái)更大的突破。下面本文針對這一發(fā)展前景展開(kāi)討論，希望能夠為我國科學(xué)技術(shù)的發(fā)展做出貢獻。
1微電子機械系統的概念
微電子機械系統所指的就是在大小毫米量級之下，最終形成的可以控制能夠運動(dòng)的微型機電裝置是由單元尺寸需要在可控制的微米和納米之間，是一個(gè)整體的系統，把微機構、微傳感器，以及微執行器還有信號處理系統等等構成。在不同的國家對于微電子機械系統的稱(chēng)呼有所不同，
2微電子機械系統的發(fā)展歷程
微機械器件以及微電子機械系統在生產(chǎn)加工的過(guò)程中需要對其深加工技術(shù)進(jìn)行研究和重視。在研究中開(kāi)始逐漸的形成了微電子加工技術(shù)和微機械裝置加工技術(shù)。并隨著(zhù)對技術(shù)的細分，開(kāi)始形成了體微機械技術(shù)以及外輪廓表面微機械裝置技術(shù)，并同時(shí)也產(chǎn)生了LIGA機械裝置技術(shù)以及高標準的LIGA機械裝置技術(shù)。對其體微機械技術(shù)按照實(shí)施的目標對象機械能分析，可以得出體硅單晶體為核心構成體并在其物理測量厚度的10到999單位內呈現規則布局分離，為其核心的技術(shù)策略單位。并對其技術(shù)中存在的腐蝕以及吻合問(wèn)題進(jìn)行布局的考慮。對其技術(shù)的優(yōu)勢分析得出，其裝置的工藝相對不繁瑣，但其操控性和調控性數值偏低。在表面微機械裝置中，進(jìn)行相應的IC技術(shù)加工，如采用擴散光學(xué)和標準尺寸對應光刻以及復膜層疊等技術(shù)運用中，其都會(huì )對原有的厚度比率進(jìn)行微調，對其在剝離技術(shù)中和進(jìn)行切割技術(shù)的分析[1]。其技術(shù)的有點(diǎn)在于對IC技術(shù)有相對完整的包容性，但存在的不足點(diǎn)也較為顯著(zhù)，如切割的縱向厚度單位偏低，在電光鑄模和縮微成型以及耐溫差等方面存在一定的技術(shù)局限。LIGA技術(shù)在德文X射線(xiàn)進(jìn)行曝光和電光鑄模中有其良好的優(yōu)越性，其對設備的制取尺寸在1單位內到999單位內。但需要指出LIGA技術(shù)處于高成本和高復雜度的技術(shù)，并需要采用相對保守的紫外線(xiàn)深度曝光，保障其光刻效果和覆膜效果。而準LIGA技術(shù)在對設備加工中可以在最合理控制尺寸中，保障其電路集成后續裝置獲得合理的配置[2]。因而其技術(shù)的優(yōu)勢在微機械技術(shù)中可以獲得關(guān)注度的展現。
2.1自動(dòng)對焦的三維加工技術(shù)
目前自對準的準三維加工技術(shù)普遍采用深度的紫外線(xiàn)厚度型進(jìn)行光度的曝光刻度，并進(jìn)行膠模的處理，保證其在犧牲層和結構層獲得合理的電鑄，并利用其兩層的金屬電鑄特帶你，獲得犧牲層厚度的保障，并進(jìn)行微結構的自動(dòng)對準技術(shù)保障[3]。
因而CU可以表示為犧牲層，NI為結構層的技術(shù)，并在其平面和垂直兩方向性獲得控制，在其CU和NI中進(jìn)行電鑄處理，使得其種子層和型模層獲得兩種電鑄金屬處理，讓技術(shù)水平在微架構層面獲得統一標準化套準對應。在其腐蝕性選擇上要對其液體進(jìn)行考慮，CI屬于腐蝕性，NI不屬于腐蝕性，并對其微機械機構進(jìn)行終止惰性反應。其配套技術(shù)以及Ic工藝獲得最大化的包容，在溫度上控制在85攝氏度，獲得對結構合理的微機械技術(shù)。其深度的單位測定在22，保障其后續的標準對應后其范圍空載在49到101內。
準LIGA技術(shù)需要在工藝布局考慮中，首先要保障（a）低阻硅片（10-3cm），其熱氧化反映在1.5，其厚度在SIO2其需要把定子對襯低的外圓位置進(jìn)行確定。同時(shí)進(jìn)行首次的光學(xué)刻，SIO2腐蝕出進(jìn)行1.2各坑道處理。形成在轉子下部的新支撐點(diǎn)確定。在除去膠緣后，在真空中進(jìn)行高溫處理形成0.3的銅電鑄種子層。在第二次光學(xué)刻錄中，要對尺寸厚光刻膠AZ4620進(jìn)行轉子膠模處理，保障其電光鑄在3內進(jìn)行轉子保障。后進(jìn)行第三次的光刻，在其厚度尺寸中選擇光學(xué)刻錄定子膠模處理，保障其厚度在2.5范圍內。形成銅犧牲層的轉子和釘子的轉化變化，對其空隙中要包容其電鑄在1.5釘子范圍。在最后一次光刻中，要對其厚膠光學(xué)刻錄后，對其1.3銅都犧牲層要進(jìn)行間隙轉化的電鑄考慮。并用起腐蝕性的液進(jìn)行HF緩沖液體的處理，通過(guò)SIO2合理的釋放轉化的轉子。其微機械技術(shù)在應用中可以獲得廣泛的推崇，靜電驅動(dòng)鎳晃動(dòng)微馬達為例，其自對準的準三維加工技術(shù)目前在實(shí)際應用中哥已經(jīng)獲得鎳晃動(dòng)馬達。用電鑄Cu作犧牲層，電鑄Ni作結構層（定子、轉子和軸），得到的轉子與定子。各項參數都符合標準。
3結語(yǔ)
綜上所述，我國的科學(xué)技術(shù)水平一直在不斷的發(fā)展，由此微電子機械系統也在持續的發(fā)展狀態(tài)下，由于近二十年間我國微電子機械系統發(fā)展相對比較慢。主要也是由于技術(shù)掌握的不夠嫻熟，現階段我國也在向發(fā)達國家學(xué)習，所以在微電子機械系統的領(lǐng)域中，發(fā)展速度也在不斷加快。這也為我國科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域做出一個(gè)良好的榜樣，給未來(lái)的微電子機械技術(shù)的前進(jìn)道路打下良好的基礎。為我國提高綜合國力以及經(jīng)濟迅速發(fā)展做出良好的貢獻。
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