微電子技術(shù)的瞄準與定位技術(shù)

　　引導語(yǔ)：瞄準與定位是光學(xué)儀器的重要環(huán)節之一。下面就由小編來(lái)帶著(zhù)大家一起看看什么是微電子技術(shù)的瞄準以及定位吧，趕緊學(xué)習起來(lái)哦!

　　瞄準與定位是光學(xué)儀器的重要環(huán)節之一。

　　隨著(zhù)微電子技術(shù)的應用，瞄準技術(shù)己由人眼瞄準向自動(dòng)對準方向發(fā)展，既排除了人眼瞄準的主觀(guān)誤差，提高了儀器的瞄準精度，又使儀器限制，其最好精度也只能達到0.2～0.3 gm。隨后發(fā)展起來(lái)的光電對準方法對標尺刻線(xiàn)像進(jìn)行對準，不但提高了對準精度，而且使對準和測量自動(dòng)化成為可能。

　　光電對準的實(shí)質(zhì)是：通過(guò)一定的光電轉換系統，將被對準的線(xiàn)紋與一個(gè)選定的測量基線(xiàn)之間的位置關(guān)系用電信號來(lái)描述，然后以電信號的相位關(guān)系、幅度關(guān)系或脈沖的寬度比例等作為對準的依據。在對準系統中，通常利用聚光系統和顯微成像系統將線(xiàn)紋放大：同時(shí)在光路中加入一些特殊的部件(如雙狹縫、振動(dòng)鏡等)來(lái)對影像進(jìn)行一定的調制，投影到光電接收器上，最后經(jīng)電路放大顯示出來(lái)。光電顯微鏡的對準精度可達0.01～0.05 gm，可實(shí)現自動(dòng)化測量;光電準直管的對準精度可達0.1″，甚至更高。

　　隨著(zhù)電子技術(shù)的發(fā)展，光電自動(dòng)對準系統應運而生，光電自動(dòng)對準系統由高質(zhì)量的光學(xué)圖像傳遞系統、信噪比好的光電轉換系統、能提供高反差的對準標記、三個(gè)自由度微位移機構、高靈敏度的電子處理和控制系統等幾部分組成，它實(shí)際上是一個(gè)閉環(huán)控制系統，即根據對準標記X，Y，θ三個(gè)自由度的坐標偏差量，驅動(dòng)微位移機構按坐標偏差量進(jìn)行自動(dòng)補償，直到對準誤差在允許的范圍內。

　　2.讀數測微技術(shù)

　　讀數測微系統形式很多，按讀數方式可分為機械式、光學(xué)式和數字式三種。機械式讀數測微是利用機械結構對微小尺寸進(jìn)行細分讀數，最常用的是絲桿測微器;光學(xué)式讀數測微是利用光學(xué)放大原理，把標尺或度盤(pán)上刻線(xiàn)間隔通過(guò)物鏡放大后成像在分劃板上(或直接成像在投影屏上)，經(jīng)測微器細分后，再通過(guò)目鏡(或投影測微器)進(jìn)行讀數;數字式讀數測微是利用計量光柵或光電碼盤(pán)以及其他光學(xué)方法，將光信號轉換成電信號，再對電信號進(jìn)行電子細分，最后用數字顯示，它具有測量精度高(可達亞微米級)、讀數快(讀數速率可達每秒數萬(wàn)次以上)、分辨率高(可達0.1μm)、易實(shí)現自動(dòng)化等特點(diǎn)。

　　3.簡(jiǎn)化儀器結構

　　在光學(xué)儀器中，貴重的精密機械部件、機械光學(xué)部件和機電元件可用電子器件或簡(jiǎn)單的機械部件與微電子器件的結合來(lái)代替。例如，在三坐標測量機中，原用裝有機電傳動(dòng)的精密機械導向裝置，現改用裝有增量發(fā)送器和微型計算機的反饋式伺服傳動(dòng)裝置，降低了對機械部件的精度要求;又如，機械變速機構可用裝有伺服電動(dòng)機的反饋傳動(dòng)系統代替，利用面陣CCD器件可以取代機械式十字臺、步進(jìn)電動(dòng)機和圖像掃描儀等。這些改進(jìn)都大大地簡(jiǎn)化了儀器結構。

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